التقدم في تكنولوجيا اختبار الفيلم السميك
لتلبية متطلبات الأبعاد الصارمة للمواد في اختبار الشفافية الحالي،هذه الدراسة تحسن مصباح اختبار الشفافية من خلال تطبيق مبدأ طريقة قياس الحثيةتم تطوير جهاز متخصص لاختبار مواد الأفلام السميكة ضمن نطاق التردد من 0.1GHz ~ 0.6GHz ، مع التحكم في خطأ الاختبار ضمن ± 20٪.
يعمل جهاز الاختبار المستخدم على نطاق واسع على أساس طريقة قياس الحثية على مبدأ أنه يعمل كمحفز دورة واحدة عند الاختصار.يتم استنتاج قابلية المرور للمادة قيد الاختبار عن طريق قياس تغير الحثية للجهاز قبل وبعد إدخال المادةومع ذلك، فإن هذه الطريقة تتطلب أن تكون مادة الاختبار في شكل شكل، مما يجعل من المستحيل قياس نفوذ الترددات المنخفضة للمواد الصغيرة.
ابتداءً من مبدأ تصميم الأجهزة، يتم الحصول على صيغة تجريبية مناسبة من خلال المحاكاة والقياسات الفعلية.يتم تحسين مصباح اختبار الشفافية المناسب لمواد الأفلام السميكة عن طريق ضبط طول، وعرض، وارتفاع الموصل المعدني لخط الشريط. الرسم البياني لبارامتر S11 من الأجهزة الفارغة في نطاق 0.1GHz ~ 1GHz يظهر أن قيم S11 بعيدة عن نقطة الرنين،وقد أجريت اختبارات عملية للتحقق من أدائها.
كما هو مبين في الشكل 4، a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsاستنادا إلى النتائج الشاملة للجزء الحقيقي والخيالي من الشبكة، هذه الطريقة قابلة للتطبيق لقياس الشبكة في نطاق التردد من 0.1GHz ~ 0.6GHz.
