Progresso na Tecnologia de Teste de Filmes Espessos
Para dar resposta aos rigorosos requisitos de dimensão dos materiais nos ensaios de permeabilidade actuais,Este estudo melhora o dispositivo de ensaio de permeabilidade aplicando o princípio do método de medição da indutividade.Foi desenvolvido um dispositivo especializado para testar materiais de película espessa na faixa de frequência de 0,1 GHz a 0,6 GHz, com o erro de ensaio controlado dentro de ± 20%.
O dispositivo de ensaio amplamente utilizado baseado no método de medição da indutividade funciona com base no princípio de que funciona como um inductor de giro único quando em curto-circuito.A permeabilidade do material submetido a ensaio é obtida através da medição da alteração da indutividade do dispositivo antes e após a inserção do material.No entanto, este método exige que o material de ensaio tenha uma forma toroidal, o que torna impossível medir a permeabilidade de baixa frequência de materiais de pequeno tamanho.
Partindo do princípio de conceção do dispositivo, obtém-se uma fórmula empírica adaptada através de simulações e medições reais.O dispositivo de ensaio de permeabilidade adequado para materiais de película espessa é melhorado ajustando o comprimento, largura e altura do condutor metálico da linha de banda. O gráfico de parâmetros S11 do dispositivo vazio na faixa de 0,1 GHz ~ 1 GHz mostra que os valores S11 estão longe do ponto de ressonância,e testes práticos foram realizados para verificar o seu desempenho.
Conforme mostrado na figura 4, a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsCom base nos resultados abrangentes das partes reais e imaginárias da permeabilidade, este método é aplicável à medição da permeabilidade na faixa de frequência de 0,1 GHz a 0,6 GHz.
