থিক ফিল্ম টেস্টিং প্রযুক্তিতে অগ্রগতি
বর্তমান পারমিটেবিলিটি পরীক্ষায় উপাদানগুলির জন্য কঠোর মাত্রিক প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে,এই গবেষণায় ইন্ডাক্ট্যান্স পরিমাপ পদ্ধতির নীতি প্রয়োগ করে পারমিয়াবিলিটি টেস্ট ফিক্সচার উন্নত করা হয়েছে।০.১ গিগাহার্টজ থেকে ০.৬ গিগাহার্টজের ফ্রিকোয়েন্সি রেঞ্জের মধ্যে ঘন ফিল্ম উপাদান পরীক্ষা করার জন্য একটি বিশেষায়িত ফিক্সচার তৈরি করা হয়েছে, যা পরীক্ষার ত্রুটি ± 20% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রিত।
ইন্ডাক্ট্যান্স পরিমাপ পদ্ধতির উপর ভিত্তি করে বহুল ব্যবহৃত পরীক্ষার ফিক্সচারটি নীতিমালার উপর কাজ করে যে এটি শর্ট সার্কিটের সময় একক-টার্নিং ইন্ডাক্টর হিসাবে কাজ করে।পরীক্ষিত উপাদানটির অনুপ্রবেশযোগ্যতা উপাদানটি সন্নিবেশ করানোর আগে এবং পরে ফিক্সচারটির ইন্ডাক্ট্যান্সের পরিবর্তন পরিমাপ করে পাওয়া যায়যাইহোক, এই পদ্ধতিতে পরীক্ষার উপাদানটির একটি টরয়েডাল আকৃতির প্রয়োজন হয়, যা ছোট আকারের উপকরণগুলির নিম্ন-ফ্রিকোয়েন্সি পারমিটাবিলিটি পরিমাপ করা অসম্ভব করে তোলে।
ফিক্সচার ডিজাইনের নীতি থেকে শুরু করে, সিমুলেশন এবং প্রকৃত পরিমাপের মাধ্যমে একটি ফিটযুক্ত পরীক্ষামূলক সূত্র পাওয়া যায়।ঘন ফিল্ম উপকরণ জন্য উপযুক্ত permeability পরীক্ষা ফিক্সচার দৈর্ঘ্য সমন্বয় দ্বারা উন্নত করা হয়, প্রস্থ, এবং স্ট্রিপ লাইনের ধাতু কন্ডাক্টর উচ্চতা। 0.1GHz ~ 1GHz পরিসীমা মধ্যে S11 পরামিতি গ্রাফ S11 মান রেজোনেন্স বিন্দু থেকে দূরে হয় যে দেখায়,এবং এর কার্যকারিতা যাচাই করার জন্য ব্যবহারিক পরীক্ষা করা হয়েছে.
চিত্র ৪-এ দেখানো হয়েছে, a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsপারমিয়াবিলিটির বাস্তব এবং কাল্পনিক অংশের ব্যাপক ফলাফলের ভিত্তিতে, এই পদ্ধতিটি 0.1GHz ~ 0.6GHz ফ্রিকোয়েন্সি পরিসরে পারমিয়াবিলিটি পরিমাপের জন্য প্রযোজ্য।
