Tiến bộ trong Công nghệ Kiểm tra Màng Dày
Để đáp ứng các yêu cầu kích thước nghiêm ngặt đối với vật liệu trong thử nghiệm độ thấm hiện tại,Nghiên cứu này cải thiện thiết bị thử nghiệm độ thấm bằng cách áp dụng nguyên tắc phương pháp đo độ thấmMột thiết bị đặc biệt để thử nghiệm vật liệu phim dày trong phạm vi tần số 0,1GHz ~ 0,6GHz được phát triển, với lỗi thử nghiệm được kiểm soát trong phạm vi ± 20%.
Thiết bị thử nghiệm được sử dụng rộng rãi dựa trên phương pháp đo cảm ứng hoạt động theo nguyên tắc hoạt động như một cảm ứng một vòng khi kết nối ngắn.Tính thấm của vật liệu được thử nghiệm được chiết xuất bằng cách đo sự thay đổi trong độ hấp dẫn của vật cố định trước và sau khi chèn vật liệuTuy nhiên, phương pháp này đòi hỏi vật liệu thử nghiệm phải có hình dạng toroidal, làm cho không thể đo độ thấm tần số thấp của vật liệu kích thước nhỏ.
Bắt đầu từ nguyên tắc thiết kế đồ đạc, một công thức thực nghiệm phù hợp được thu được thông qua mô phỏng và các phép đo thực tế.Thiết bị thử nghiệm độ thấm phù hợp với vật liệu phim dày được cải thiện bằng cách điều chỉnh chiều dài, chiều rộng và chiều cao của dây dẫn kim loại của dải. biểu đồ tham số S11 của vật cố định trống trong phạm vi 0,1GHz ~ 1GHz cho thấy các giá trị S11 ở xa điểm cộng hưởng,và các thử nghiệm thực tế đã được thực hiện để xác minh hiệu suất của nó.
Như thể hiện trong hình 4, a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsDựa trên các kết quả toàn diện của các phần thực tế và tưởng tượng của độ thấm, phương pháp này có thể áp dụng cho phép đo độ thấm trong dải tần số 0,1GHz ~ 0,6GHz.
