Vooruitgang in dikfilmtesttechnologie
Om aan de strikte afmetingsvereisten voor materialen in de huidige doorlaatbaarheidstests te voldoen,Dit onderzoek verbetert de doorlaatbaarheidstest door het beginsel van de meetmethode van de inductantie toe te passen.Een gespecialiseerd apparaat is ontwikkeld voor het testen van dikke filmmaterialen in het frequentiebereik van 0,1 GHz tot 0,6 GHz, waarbij de testfout binnen ± 20% wordt gecontroleerd.
Het veelgebruikte testapparaat op basis van de meetmethode voor de inductantie werkt volgens het principe dat het als eenmalige inductor functioneert bij kortsluiting.De doorlaatbaarheid van het te testen materiaal wordt berekend door de verandering in de inductance van de armature te meten vóór en na het inbrengen van het materiaal.Deze methode vereist echter dat het testmateriaal een toroïdale vorm heeft, waardoor het onmogelijk is de laagfrequente doorlaatbaarheid van kleine materialen te meten.
Aan de hand van het ontwerpbeginsel van de armaturen wordt door simulatie en werkelijke metingen een geschikte empirische formule verkregen.Het doorlaatbaarheidstestapparaat dat geschikt is voor dikke filmmaterialen, wordt verbeterd door de lengte van deDe S11-parametergrafiek van de lege armature in het bereik van 0,1 GHz tot 1 GHz toont aan dat de S11-waarden ver van het resonantiepunt liggen.en praktische tests zijn uitgevoerd om de prestaties ervan te verifiëren.
Zoals aangegeven in figuur 4, a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsOp basis van de uitgebreide resultaten van de werkelijke en denkbeeldige delen van de permeabiliteit is deze methode toepasbaar voor de meting van de permeabiliteit in het frequentiebereik van 0,1 GHz tot 0,6 GHz.
