پیشرفت در تکنولوژی تست فیلم ضخیم
برای پاسخگویی به الزامات ابعاد سختگیرانه برای مواد در آزمایش نفوذ پذیری فعلی،این مطالعه با استفاده از اصل روش اندازه گیری حثیت، لامپ آزمایش نفوذ پذیری را بهبود می بخشد.یک لامپ تخصصی برای آزمایش مواد فیلم ضخیم در محدوده فرکانس 0.1GHz ~ 0.6GHz توسعه یافته است، با خطا آزمایش کنترل شده در ± 20٪.
لامپ آزمایش به طور گسترده ای بر اساس روش اندازه گیری حثیت کار می کند بر اساس این اصل که آن را به عنوان یک محرک تک دور در هنگام کوتاه شدن کار می کند.نفوذ پذیری ماده مورد آزمایش با اندازه گیری تغییر در حثیت لامپ قبل و بعد از قرار دادن ماده حاصل می شود.با این حال، این روش مستلزم این است که مواد مورد آزمایش در یک شکل تروییدال باشند، که اندازه گیری نفوذ فرکانس پایین مواد کوچک را غیرممکن می کند.
با شروع از اصل طراحی لامپ، یک فرمول تجربی مناسب از طریق شبیه سازی و اندازه گیری واقعی به دست می آید.لامپ آزمایش نفوذ مناسب برای مواد فیلم ضخیم با تنظیم طول بهبود می یابد، عرض و ارتفاع هادی فلزی خط نوار. نمودار پارامتر S11 لامپ خالی در محدوده 0.1GHz ~ 1GHz نشان می دهد که مقادیر S11 از نقطه رزونانس دور هستند،و آزمایشات عملی برای تأیید عملکرد آن انجام شده است.
همانطور که در شکل 4 نشان داده شده است، a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsبر اساس نتایج جامع بخش های واقعی و خیالی نفوذ پذیری، این روش برای اندازه گیری نفوذ پذیری در محدوده فرکانس 0.1GHz ~ 0.6GHz قابل استفاده است.
