Kemajuan dalam Teknologi Pengujian Film Tebal
Untuk memenuhi persyaratan dimensi yang ketat untuk bahan dalam pengujian permeabilitas saat ini,studi ini meningkatkan perlengkapan uji permeabilitas dengan menerapkan prinsip metode pengukuran induktansiSebuah perlengkapan khusus untuk menguji bahan film tebal dalam rentang frekuensi 0,1GHz ~ 0,6GHz dikembangkan, dengan kesalahan uji dikendalikan dalam ± 20%.
Perlengkapan uji yang digunakan secara luas berdasarkan metode pengukuran induktansi bekerja pada prinsip bahwa ia berfungsi sebagai induktor satu putaran ketika tersambung pendek.Permeabilitas bahan yang diuji diperoleh dengan mengukur perubahan induktansi perlengkapan sebelum dan setelah memasukkan bahan.Namun, metode ini mengharuskan bahan uji berada dalam bentuk toroidal, sehingga tidak mungkin untuk mengukur permeabilitas frekuensi rendah dari bahan berukuran kecil.
Dimulai dari prinsip desain perlengkapan, rumus empiris yang cocok diperoleh melalui simulasi dan pengukuran aktual.Perlengkapan uji permeabilitas yang cocok untuk bahan film tebal ditingkatkan dengan menyesuaikan panjang, lebar, dan ketinggian konduktor logam jalur strip. grafik parameter S11 dari perlengkapan kosong dalam kisaran 0,1 GHz ~ 1 GHz menunjukkan bahwa nilai S11 jauh dari titik resonansi,dan tes praktis telah dilakukan untuk memverifikasi kinerjanya.
Seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4, a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsBerdasarkan hasil komprehensif dari bagian permeabilitas yang nyata dan imajiner, metode ini dapat diterapkan untuk pengukuran permeabilitas dalam rentang frekuensi 0,1 GHz ~ 0,6 GHz.
