Progreso en la tecnología de pruebas de película gruesa
Para satisfacer los estrictos requisitos dimensionales de los materiales en los ensayos actuales de permeabilidad,Este estudio mejora el dispositivo de ensayo de permeabilidad aplicando el principio del método de medición de la inductancia.Se ha desarrollado un dispositivo especializado para probar materiales de película gruesa dentro del rango de frecuencia de 0,1 GHz a 0,6 GHz, con un error de ensayo controlado dentro del ± 20%.
El dispositivo de ensayo ampliamente utilizado basado en el método de medición de la inductancia funciona según el principio de que funciona como un inductor de un solo giro en caso de cortocircuito.La permeabilidad del material objeto de ensayo se obtiene midiendo el cambio en la inductancia del accesorio antes y después de insertar el material.Sin embargo, este método requiere que el material de ensayo tenga una forma toroidal, lo que imposibilita medir la permeabilidad a baja frecuencia de materiales de pequeño tamaño.
A partir del principio de diseño de los accesorios, se obtiene una fórmula empírica adecuada mediante simulación y mediciones reales.El dispositivo de ensayo de permeabilidad adecuado para materiales de película gruesa se mejora ajustando la longitudEl gráfico de parámetros S11 del accesorio vacío en el rango de 0,1 GHz a 1 GHz muestra que los valores S11 están lejos del punto de resonancia,y se han llevado a cabo pruebas prácticas para verificar su rendimiento.
Como se muestra en la figura 4, a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsSobre la base de los resultados completos de las partes reales e imaginarias de la permeabilidad, este método es aplicable para la medición de la permeabilidad en el rango de frecuencia de 0,1 GHz a 0,6 GHz.
