मोटी फिल्म परीक्षण प्रौद्योगिकी में प्रगति
वर्तमान पारगम्यता परीक्षणों में सामग्री के लिए सख्त आयामी आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, यह अध्ययन प्रेरण माप विधि के सिद्धांत को लागू करके पारगम्यता परीक्षण फिक्स्चर में सुधार करता है। 0.1GHz~0.6GHz की आवृत्ति सीमा के भीतर मोटी फिल्म सामग्री के परीक्षण के लिए एक विशेष फिक्स्चर विकसित किया गया है, जिसमें परीक्षण त्रुटि ±20% के भीतर नियंत्रित है।
प्रेरण माप विधि पर आधारित व्यापक रूप से इस्तेमाल किया जाने वाला परीक्षण फिक्स्चर इस सिद्धांत पर काम करता है कि यह शॉर्ट-सर्किट होने पर एकल-टर्न इंडक्टर के रूप में कार्य करता है। परीक्षण के तहत सामग्री की पारगम्यता को सामग्री डालने से पहले और बाद में फिक्स्चर की प्रेरण में परिवर्तन को मापकर प्राप्त किया जाता है। हालांकि, इस विधि के लिए परीक्षण सामग्री का टोरॉयडल आकार में होना आवश्यक है, जिससे छोटे आकार की सामग्री की निम्न-आवृत्ति पारगम्यता को मापना असंभव हो जाता है।
फिक्स्चर डिजाइन सिद्धांत से शुरू होकर, सिमुलेशन और वास्तविक मापों के माध्यम से एक फिट अनुभवजन्य सूत्र प्राप्त किया जाता है। मोटी फिल्म सामग्री के लिए उपयुक्त पारगम्यता परीक्षण फिक्स्चर को स्ट्रिप लाइन के धातु कंडक्टर की लंबाई, चौड़ाई और ऊंचाई को समायोजित करके सुधारा जाता है। 0.1GHz~1GHz की सीमा में खाली फिक्स्चर का S11 पैरामीटर ग्राफ दिखाता है कि S11 मान अनुनाद बिंदु से बहुत दूर हैं, और इसके प्रदर्शन को सत्यापित करने के लिए व्यावहारिक परीक्षण किए गए हैं।
जैसा कि चित्र 4 में दिखाया गया है, विभिन्न मोटाई के नमूनों के लिए पारगम्यता के वास्तविक और काल्पनिक भागों के अनुभवजन्य सूत्र से गणना किए गए परिणामों और वास्तविक मापे गए डेटा के बीच तुलना से पता चलता है कि कुछ आवृत्ति बिंदुओं को छोड़कर, पारगम्यता के काल्पनिक भाग की निरपेक्ष त्रुटि 20% के भीतर है। पारगम्यता के वास्तविक और काल्पनिक भागों के व्यापक परिणामों के आधार पर, यह विधि 0.1GHz~0.6GHz की आवृत्ति सीमा में पारगम्यता माप के लिए लागू है।
