Kalın Film Test Teknolojisinde İlerleme
Mevcut geçirgenlik testlerinde malzemeler için katı boyut gereksinimlerini karşılamak için,Bu çalışma, endüktans ölçüm yöntemi ilkesini uygulayarak geçirgenlik testi armatürünü geliştirir.0.1GHz ~ 0.6GHz frekans aralığında kalın film malzemelerini test etmek için özel bir armatür geliştirildi ve test hatası ± 20% içinde kontrol edildi.
Indüktans ölçüm yöntemine dayalı yaygın olarak kullanılan test armatürü, kısa devre durumunda tek dönüşlü indüktör olarak işlev görme ilkesinde çalışır.Test edilen malzemenin geçirgenliği, malzemenin yerleştirilmesinden önce ve sonra armatürün indüktansındaki değişikliği ölçerek elde edilir.Bununla birlikte, bu yöntem, test malzemesinin toroidal bir şekilde olmasını gerektirir ve bu da küçük boyutlu malzemelerin düşük frekanslı geçirgenliğini ölçmeyi imkansız kılar.
Aygıt tasarımı ilkesinden başlayarak, simülasyon ve gerçek ölçümler yoluyla uygun bir deneysel formül elde edilir.Kalın film malzemeleri için uygun geçirgenlik test armatürü, uzunluğunu ayarlayarak geliştirilmiştir., bant hattının metal iletkeninin genişliği ve yüksekliği. 0.1GHz ~ 1GHz aralığında boş armatürün S11 parametresi grafiği, S11 değerlerinin rezonans noktasından uzak olduğunu gösterir.Performansını doğrulamak için pratik testler yapıldı..
Şekil 4'te gösterildiği gibi, a comparison between the calculated results from the empirical formula and the actual measured data of the real and imaginary parts of permeability for samples with different thicknesses reveals that the absolute error of the imaginary part of permeability is within 20% except for a few frequency pointsPermeabilitenin gerçek ve hayali kısımlarının kapsamlı sonuçlarına dayanarak, bu yöntem 0,1GHz ~ 0,6GHz frekans aralığında permeabilite ölçümü için uygulanabilir.
